2021年6月17日，在今日召开的科创板上市委2021年第39次审议会议上，中芯聚源投资的华海清科股份有限公司（首发）获通过。
华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商，主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，主要产品为化学机械抛光（CMP）设备。公司所生产 CMP 设备可广泛应用于12英寸和8英寸的集成电路大生产线，产品总体技术性能已达到国内领先水平。公司推出了国内首台拥有核心自主知识产权的12英寸CMP设备并实现量产销售，是目前国内唯一一家为集成电路制造商提供12英寸CMP商业机型的高端半导体设备制造商，产品已广泛应用于国内外先进集成电路制造商大生产线中。
华海清科此次募集资金拟全部用于主营业务相关的项目及主营业务发展所需资金，包括高端半导体装备（化学机械抛光机）产业化项目、高端半导体装备研发项目、晶圆再生扩产升级项目及补充流动资金。
中芯聚源对华海清科在科创板首发过会表示热烈的祝贺！未来，我们相信华海清科将坚持以集成电路产业需求为导向，以自主研发与产业化应用为关键突破口，立足国内、面向全球，努力发展成为国际知名的集成电路高端装备及技术服务供应商。
